◆松山湖材料实验室非晶智芯团队负责人
◆北京市弱磁检测与应用工程技术中心副主任
◆科大天工智能装备研究院副院长
磁性材料、磁敏元器件及智能传感器
设计并研发了国内第一款GMI-MEMS芯片
团队目前有教授2人、高级工程师、工程师等15名，团队成员来自于北京科技大学、哈尔滨工业大学等国内知名高校，在磁性功能材料、MEMS工艺、芯片电路设计等领域有丰富的从业经验。
项目介绍
本项目针对高阻抗变化率非晶丝材料及其磁性能优化、GMI-MEMS制造工艺以及 SoC 集成方面进行了深入研发。开发出了高阻抗变化率的非晶丝材料，并具备批量制备能力；利用该高性能非晶丝材料，配合精密线圈绕组及装配工艺，结合低噪声模拟电路设计，开发了pT级极高灵敏度弱磁传感器模组，并在国防、智能电网、航空航天、智慧交通、高端医疗等领域进行了应用示范；基于典型的非硅MEMS工艺，通过电镀、磁控溅射，结合LIGA深刻蚀技术以及GMI非晶丝高精度装配，研发了国内首个GMI-MEMS弱磁芯片；依托松山湖材料实验室完备的材料分析、表征和半导体加工条件，采用SIP封装技术，完成了GMI-MEMS和ASIC信号处理电路的SoC片上集成。
团队经过多年的技术积累，已形成面向不同应用场景需求的霍尔、磁阻、巨磁阻抗三代磁敏材料及芯片设计、制造工艺体系，具备智能磁传感芯片批产能力，并推进磁敏芯片在汽车电子、电网、智能制造领域的产业化应用。
产品市场
一、汽车电子领域
汽车电子是传感器的最大市场，发动机转速、位置、位移、电动车电流、电压等车规级磁传感器芯片及模组需求持续增加。
二、智能电网领域
随着风电、光伏以及电网数字化的需求，电学量的高精度测量在智能电网领域有广阔的市场需求。
三、生物医疗领域
GMI在非磁屏蔽环境下对心磁、脑磁等微弱磁场信号的测量，以及对生物制剂的磁性微粒测量是医学磁测量的一个新方向。
研究方向
一、高阻抗变化率非晶丝材
二、霍尔、磁阻、GMI弱磁传感器芯片敏感部件的MEMS工艺、ASIC调理电路核心技术
三、高可靠车规级磁敏芯片
四、芯片-模组-CPS系统集成应用
