刻蚀工艺

能实现不同材料体系(包括III-V族半导体材料、硅、压电材料、低维材料、金属以及金属基化合物等)的蚀刻应用,满足各种精细微纳结构与器件的制作。

感应耦合等离子体刻蚀机

设备介绍

感应耦合等离子体刻蚀机

设备介绍

设备介绍