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刻蚀工艺
能实现不同材料体系(包括III-V族半导体材料、硅、压电材料、低维材料、金属以及金属基化合物等)的蚀刻应用,满足各种精细微纳结构与器件的制作。
感应耦合等离子体刻蚀机
设备介绍
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设备介绍
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